沪硅精密陶瓷科技（苏州）有限公司

概要：由中科院硅酸盐所、微系统所及沪硅管理运营团队组成，沪硅管理运营团队是以上海交大背景，有世界五百强及美国半导体装备研发机及械制造经验的精英团队。沪硅科技与中微及国内光刻机主流厂商保持紧密合作，致力于填补国内耐等离子体侵蚀陶瓷方面产业空白。

企业信息：

企业名称：沪硅精密陶瓷科技（苏州）有限公司

统一社会信用代码：91320585MAC4K13N1T

网址：http://www.holdgreat.cn/

注册资本：1,000万(元)

成立日期：2022-12-06

所属省市：江苏省苏州市

主营：半导体行业用高纯氧化铝陶瓷和氧化钇粉体等产品。

产品关键词：超高纯度氧化铝，高纯氧化铝陶瓷，抗等离子体侵蚀，喷涂用氧化钇粉末

产品成分关键词：氧化铝、氧化钇

 

注：以下内容信息来源：http://www.holdgreat.cn/

公司介绍：

沪硅精密陶瓷科技团队由中科院硅酸盐所、微系统所及沪硅管理运营团队组成，沪硅管理运营团队是以上海交大背景，有世界五百强及美国半导体装备研发机及械制造经验的精英团队。沪硅精密陶瓷科技团队掌握特种陶瓷粉体配方、制备工艺、核心装备制造、精密机械加工等跨专业的核心技术能力。沪硅科技致力于面向半导体装备，尤其是涉及特殊工作条件的核心装备（如刻蚀机、CVD薄膜沉积）的精密陶瓷零部件的研究和生产，金属材料机械加工，以及面向装备企业的定制化服务，为客户提供全面的解决方案。沪硅科技与中微及国内光刻机主流厂商保持紧密合作，致力于填补国内耐等离子体侵蚀陶瓷方面产业空白 ，提高半导体装备国内大循环的自主可性 ，为客户提供高品质、高效率、高附加值的产品和服务。

99.99% 超高纯度氧化铝陶瓷，由于半导体产业的持续高度化，全世界对在极限(高功率/高温)环境中可长期使用的半导体设备及零部件用陶瓷原材料需求暴增。99.99%超高纯度Al2O3 陶瓷耐等离子性超强且超级耐用而可应对高功率工程，因而用来制作半 导体设备零部件，广泛应用于电子产业各领域，例如ESC用母材、微波传导部件、腔室件、以及绝缘件。

高纯氧化铝陶瓷 99.6% 以上高纯度氧化铝陶瓷相比其他金属及塑料等原材料对化学侵袭具有高抵抗性，同时还具有结构致密且硬度高而极为耐磨的特性。高纯度氧化铝陶瓷具有良好的刚性和耐磨性，可用于晶圆抛光；即使长期使用，仍可保持良好的表面形态。高纯度 Al2O3 陶瓷还具有高温下电绝缘性以及可耐1,600~1,700°C高温的耐热性。正因上述特性，作为在高温真空等离子环境运行的蚀刻机工程等所使用消耗性零部件核心原材料广泛使用。

抗等离子体侵蚀陶瓷 能够在高温、高压等极端环境下抵抗等离子体侵蚀的陶瓷材料。它主要由氧化锆、氧化钇和其他添加剂组成，具有高温稳定性、高强度、低热膨胀系数等特点，因此在航空航天、核能等领域得到广泛应用。与常规的氧化铝陶瓷相比，稀土氧化物Y2O3具有更为优异的抗等离子体侵蚀性能，是理想的刻蚀腔体材料。YAG陶瓷是Y2O3-Al2O3复合氧化物陶瓷的简称，兼顾Al2O3 陶瓷良好的力学和热学性能以及Y2O3陶瓷卓越的抗等离子体侵蚀性能，能够为客户个性化定制。

喷涂用氧化钇末粉 氧化钇粉末作为一种高性能的喷涂材料，在各个行业中广泛应用。沪硅精密陶瓷科技致力于为客户提供优质的氧化钇粉末材料和专业的技术支持。氧化钇粉末具有以下卓越特性：- 高温稳定性: 氧化钇粉末能够在高温环境下保持稳定性，不易熔化或氧化，适用于高温喷涂应用。- 耐腐蚀性: 氧化钇粉末对酸碱等腐蚀性介质具有优异的抗腐蚀性能，可在恶劣环境中长期使用。- 优异的绝缘性: 氧化钇粉末具有良好的绝缘性能，可用于电子元件的保护涂层。- 高硬度和耐磨性: 氧化钇粉末具有出色的硬度和耐磨性，可增强喷涂材料的耐磨性能。

产品图谱：

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