宁夏北瓷新材料收到科学技术部下发的关于高性能氮化铝静电吸盘国家重点研发计划课题任务书

摘要：

12月5日，成都旭光电子股份有限公司的孙公司宁夏北瓷新材料科技有限公司收到中华人民共和国科学技术部下发的国家重点研发计划课题任务书，任务书基本内容如下：

课题名称：氮化铝陶瓷组分设计及大尺寸辅热型静电吸盘制造和应用

所属项目：半导体用高超精密晶舟及静电吸盘研制与应用

所属专项：先进结构与复合材料

项目牵头承担单位：中材高新氮化物陶瓷有限公司

课题承担单位: 宁夏北瓷新材料科技有限公司

课题负责人：陈军平

执行期限：2023 年 11 月至 2026 年 10 月

课题简介：针对我国半导体行业对高精度静电吸盘国产化的迫切需求，系统地开展12英寸晶圆用大尺寸辅热型氮化铝静电吸盘结构设计、陶瓷材料热学和电学性能协同调控、辅热型静电吸盘制造技术、静电吸盘性能测试表征技术等多面的研究，突破静电吸盘仿真结构设计、热导率和电阻率可调的组分设计、电介质层和加热层共烧致密化，温度和吸附力均匀性测试等多项关键技术，实现高温度均匀性和高吸附均匀性氮化铝静电吸盘样件的制备，并且完成在半导体制程模拟装置中的示范应用，建立中试生产线，为国产化高性能氮化铝静电吸盘的产业化应用和发展奠定基础。

静电吸盘介绍

静电吸盘是一种适用于真空环境或等离子体环境的超洁净晶圆片承载体，它利用静电吸附原理将晶圆片加以固定并进行控温，广泛应用于PVD、PECVD、刻蚀、离子注入等高端半导体制造设备中。静电吸盘主要是以氧化铝陶瓷或氮化铝陶瓷作为主体材料，随着新一代半导体技术的发展，低温刻蚀与沉积等工艺通常需要晶圆达到更低的温度，因此对静电卡盘的散热性能就提出了更高的要求。而Al2O3材料热导率及相关机械性能均不及AlN陶瓷，因此AlN陶瓷替代Al2O3陶瓷作为静电吸盘的制造材料成为趋势。全球静电吸盘市场具有高度垄断性，主要被日美厂商主导。目前我国静电吸盘的自主水平及国产化率，与其它半导体零部件、关键原材料的处境一致，极易被“卡脖子”。

宁夏北瓷具备全产业链商用氮化铝粉体—基板—结构件—HTCC与高端功能器件产品量产的能力，其生产出的许多不再依赖进口的产品，比如氮化铝粉体、高端封装基板、超高热导率陶瓷基板、高精密氮化铝功能器件、芯片封装管壳等。有多项产品被成功用在了芯片加工的CVD与ETCH等设备，为我国的芯片制造产业中的关键材料自主化作出了贡献。

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