半导体材料目前已经发展至第三代。传统硅基半导体由于自身物理性能不足以及受限于摩尔定律,逐渐不适应于半导体行业的发展需求,砷化镓、碳化硅、氮化镓等化合物半导体也因而诞生。
从技术来看,半导体材料目前已发展了三代:
1) 第一代半导体材料以传统的硅(Si)和锗(Ge)为代表,是集成电路制造的基 础,广泛应用于低压、低频、低功率的晶体管和探测器中,90%以上的半导体产品 是用硅基材料制作的;
2) 第二代半导体材料以砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)和磷化镓(GaP)为代表, 相对硅基器件具有高频、高速的光电性能,广泛应用于光电子和微电子领域;
3) 第三代半导体材料以碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)、氧化锌(ZnO)、金刚石(C)、氮化铝(AlN)等新兴材料为代表。
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