特陶之家tetaohome摘要：
近日，在宁波晶钻科技股份有限公司的金刚石产业园内，一颗颗CVD大单晶金刚石如期上线。其中，一颗60 mm × 60 mm的单晶金刚石片映入眼帘。据了解，该金刚石片采用的是同质外延生长技术，这不是晶钻科技的首次突破！作为根植于宁波的民营企业，晶钻科技自2014年制备出第一颗CVD单晶金刚石以来，历经10余次技术迭代，已量产2英寸CVD单晶金刚石。2023年底，成功制备出3英寸CVD单晶金刚石，目前也已稳定批量化生产。如今产品再次升级，尺寸突破3.35英寸，并正在向4英寸以上单晶金刚石制备发起冲刺。
微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）作为行业公认的制备大尺寸、高品质单晶金刚石的最佳手段。目前主要有两种技术路线：同质外延、异质外延。相比于异质外延生长，同质外延技术的优势在于其晶体质量高，内应力和位错密度低，同时能生长出较大的籽晶原料，从而提高面积增加效率，但技术也极具挑战性。一直以来，晶钻科技走的是同质外延生长路线。60 mm × 60 mm的尺寸，换算成半导体行业晶圆常用单位，大约3.35英寸。这也是晶钻科技首次对外报道。“加快形成新质生产力，就是要加快实现‘0到1’的颠覆性创新及‘1到100’的稳定性提升”。张军安董事长说道，“目前，我们的生产设备历经多轮升级迭代已扩充到1500台，这意味着，我们的大尺寸、高品质CVD单晶金刚石年产能已达200万克拉，跃居世界前列。”
目前晶钻科技已经形成了完整的金刚石材料、相关装备与应用等产业布局和标准化生产能力。其生产的CVD单晶金刚石的杂质含量< 10 ppb，表面粗糙度< 1 nm，能可控进行氮、硼元素掺杂，为金刚石材料的功能化应用夯实更加稳固基础。目前，晶钻科技高水平研发中心已从设计蓝图变为现实，其占地123亩，首期投资10亿元、建筑面积超80000㎡的现代化金刚石产业园已投入使用，这为企业实现科技成果转化增强了信心。“国内第一家专业从事CVD单晶金刚石工业化生产的企业”、“第一台自主知识产权的MPCVD单晶金刚石生长设备”；“第一条自主知识产权的CVD大单晶金刚石工业化生产线”…… 这些已成为宁波晶钻科技股份有限公司的第一印象标签。
据宁波晶钻科技股份有限公司官网了解，该公司拥有3位重点人才计划专家及多名跨多个行业领域的外籍及海归研究员、教授、博士，与中国科学院宁波材料所共建技术研发中心，并同日本、美国多家跨国公司、大学、研究所建立长期战略联盟。建有CVD金刚石生产及加工装备研发中心，并拥有多项国内外的专利等核心知识产权。公司以天然和人造金刚石为材料基础，以CVD、纳米制造、激光微细超精加工等国际前沿现代制造技术为手段，致力于金刚石及金刚石工具和相关装备的研发、生产、销售与服务。目标成为国内外知名的人造金刚石及制品和相关装备专业示范企业。公司主营业务：CVD金刚石大单晶（培育钻石）、超精密单晶金刚石刀具、金刚石复合高导热材料及器件、金刚石表面纳米改性、金刚石磨具（金刚石锯片、金刚石砂轮、金刚石绳锯等）、超真空CVD设备，超精3D激光雕塑设备、纳米超精金刚石刀具研磨设备等。
查看更多请点击以下来源链接。
信息来源：
（以上信息来源或部分来源于以下文献或网络链接，若有侵权请及时告知以便删除）
您好！请登录